Maßgeschneiderte Handschuhboxen für die Halbleiterfertigung

Unterstützung Ihrer Projekte – von der Laborforschung bis hin zu industriellen Produktionslinien.

Jacomex entwickelt maßgeschneiderte Handschuhboxen für die Halbleiterindustrie. Präzise Atmosphärenkontrolle (O₂, H₂O, Partikel) für die Waferpräparation und die Abscheidung von Dünnschichten ohne Kontamination.

Die Containment-Kammern und Reinigungssysteme von Jacomex liefern eine gereinigte, partikelfreie Atmosphäre und bewahren so die Integrität der Wafer und der in der Mikrochipfertigung eingesetzten Materialien (Gold-, Aluminium-, Kupferabscheidungen und modifizierte Legierungen).

Unsere Technologie ist darauf ausgelegt, Spuren (<1 ppm) von Sauerstoff (O₂) und Feuchtigkeit (H₂O) zu entfernen und gleichzeitig eine partikelfreie Umgebung sicherzustellen – eine wesentliche Voraussetzung in jeder sensiblen Prozessphase. Unsere Industriepartnerschaften mit Herstellern von Vakuum-Beschichtungsanlagen und weiteren Schlüsselakteuren der Branche bieten unseren Kunden integrierte Lösungen, die den gesamten Zyklus von Probenpräparation, Prozessierung und Lagerung abdecken.

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Hauptanwendungen

Waferpräparation und -handling
Abscheidung von Dünnschichten und Beschichtungen
Transfer und Anbindung an Charakterisierungsstationen
Anbindung an Vakuumleitungen
Lagerung unter Inertatmosphäre
Quantencomputing

Umweltfreundliches Design – Energieeinsparungen für alle!

Um unsere Umwelt zu schützen, müssen keine Kompromisse eingegangen werden. Deshalb ist der Energiesparmodus in allen Jacomex-Handschuhboxen enthalten und kostenlos verfügbar.

Standard-Stromverbrauch = 198 Watt
Energiesparmodus = bis zu 31 Watt

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Standardkonfiguration

Individuelle Lösungen – maßgeschneiderte Industrieanlagen

Modernste Containment-Kammern für den Halbleiterfertigungsprozess
Integration von Vakuumleitungen und Direktanbindung an Abscheideanlagen (PVD, ALD, ALE)
Abnehmbare Durchführungen zur Platz- und Zeitersparnis (Klasse 1 gemäß ISO 10648-2)
Integration von Transferstationen, Spin-Coatern und Slot-Die-Beschichtungssystemen
ISO-5-Umgebung verfügbar: unidirektionaler Luftstrom, Deckenlüfter
Spezialfiltration für Reinheit in Mikroelektronik-Qualität
Ergonomie, Risikobewertung

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Sortiment gereinigter Handschuhboxen für die Halbleiterfertigung

Kontrollierte Atmosphäre (<1 ppm O₂ und H₂O) zur Wahrung der Waferintegrität und zur Vermeidung von Probenkontamination
Modulare Arbeitsstationen mit 2, 3 oder 4 Handschuhen, angepasst an die Größe Ihrer Produktionslinie
Einzel- oder Face-to-Face-Konfigurationen zur Integration in Ihr Werkstatt- oder Reinraumlayout
Betrieb mit Reingas (Argon, Stickstoff, Helium) für eine partikelfreie Umgebung
Beheizte Vakuum-Antechambers, Ø150 mm – Ø400 mm, für den Wafertransfer ohne Vakuumbruch
Benutzerfreundliche HMI, Benutzer-Rückverfolgbarkeit und Datenprotokollierung für 2 Monate
Wartungsarm für reduzierte Gesamtbetriebskosten (TCO)
3 Jahre Garantie

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Ausstattung und Merkmale

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On demand

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Zertifizierungen

ISO- und europäische Qualitätsstandards

Jacomex ist stolz darauf, die höchsten Branchenstandards einzuhalten, mit Zertifizierungen wie ISO 9001:2015 für Qualitätsmanagement und ISO 10648-2 für Sicherheitsbehälter und Handschuhboxen. Darüber hinaus gewährleisten wir die Einhaltung der EN 60439-1, eines CE-Standards zur Selbstzertifizierung, was unser Engagement für Sicherheit und Zuverlässigkeit widerspiegelt.

Jacomex-Zertifikate